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這是一款高精度技術(shù)的新型混合檢測器，同過去的檢測器不同，將大范圍內(nèi)精度穩(wěn)定的線性光柵尺和小范圍內(nèi)高分辨率的差動(dòng)電感混合一體。 這兩種不同的傳感器在測量時(shí)同時(shí)感應(yīng)，zui大限度地發(fā)揮傳感器的潛能。
